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天眼查APP顯示，近日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請的“一種晶圓浸泡裝置的升降結構”專利公布。 摘要顯示，本發明屬于半導體行業晶片濕法處理設備技術領域，具體地說是一種晶圓浸泡裝置的升降結構，包括升降架、底座板、立板、主動帶輪、被動帶輪、同步帶、同步帶驅動件。升降架用于與晶圓浸泡裝置的升降連桿的上端連接。底座板安裝于晶圓浸泡裝置的儲液槽的頂面上。同步帶驅動件帶動主動帶輪轉動，使同步帶轉動，進而使與同步帶連接的升降架進行升降。本發明的通過同步帶傳動的升降結構，相對于現有升降結構所采用的電動執行器的結構要簡單，制造及拆裝維護成本更低，整體重量更輕，占用空間更小，能夠安裝于底座板上而無需占用儲液槽外側空間，使用穩定可靠。
